LANGUAGE ▼
產(chǎn)品中心
磷酸三甲酯
關(guān)鍵詞：
關(guān)鍵詞：
MO源領(lǐng)域、電子級碘甲烷和氫碘酸領(lǐng)域、高科技合成酸領(lǐng)域、多元醇酯類冷凍機(jī)油領(lǐng)域
所屬分類：
產(chǎn)品描述
|
中文名 |
化學(xué)式 |
CAS號 |
別名 |
英文名 |
產(chǎn)能情況和庫存 |
|
磷酸三甲酯 |
C3H9O4P |
512-56-1 |
TMPO |
Trimethyl phosphate |
前驅(qū)體 |
|
磷酸三甲酯（TMPO） |
|
|
化學(xué)式 |
C3H9O4P |
|
中文名稱 |
磷酸三甲酯 |
|
英文名稱 |
Trimethyl phosphate |
|
CAS No. |
512-56-1 |
|
分子量 |
140.07 |
|
應(yīng)用 |
用于在半導(dǎo)體應(yīng)用中沉積 PSG 和 BPSG 膜。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即摻雜了硼和磷的二氧化硅作為第一層金屬前介電質(zhì)(PMD)以及金屬層間介電質(zhì)(AVID)在IC制造中有著廣泛的應(yīng)用。二氧化硅原有的有序網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)由于硼磷雜質(zhì)(B2O3、P2O5 )的加入而變得疏松，在高溫條件下某種程度上具有像液體一樣的流動能力( Reflow )。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能夠提高整個硅片表面的平坦化，從而為光刻及后道工藝提供更大的工藝范圍。 |
|
產(chǎn)品規(guī)格 |
9N（99.9999999%） |
相關(guān)產(chǎn)品
歡迎您的留言咨詢
微信公眾號
手機(jī)站
地址：江西省南昌市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)英雄大道2266號
座機(jī)（傳真）：0791-83960365
Copyright ? 2023 江西佳因光電材料有限公司 | 版權(quán)所有